三次元测量仪结构特点：
1.三坐标测量机采用全花岗岩结构、有限元分析、固定龙门式设计从而使测量机整体保持了高稳定性与高可靠性。
2.三坐标测量机采用全花岗岩横梁、整体基座、立柱工作台、Z轴形成整机全封闭框架结构，具有高稳定性、不易变形、热稳定性高等特点。
3.三坐标测量机三轴均采用先进的柔性钢丝同步齿型带传动，整机运动无任何噪音、定位快速准确、不打滑、长寿命。
4.Y轴采用高精度整体双燕尾导轨、三轴均为中心驱动、高分辨率光栅尺中心安装使各轴运动的俯仰、偏摆得到最大限度抑制，且产生最小的阿贝误差。采用世界名牌大功率电机及伺服驱动器，大大改善运动控制特性，测量机加速、制动、运行更快速平稳。
5.Z轴应用采取获得专利的气动平衡技术，采用柔性悬挂系统，避免了轴向运动和传动系统之间的干涉问题，提高了测量机的精度和长期稳定性。
三次元测量仪技术参数：
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型号
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MST-L1200
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MST-L1500
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MST-L1800
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MST-L2000
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测量范围(mm)
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X
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1000
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1200
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1500
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1800
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Y
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1200
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1500
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1800
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2000
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Z
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200
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技术指标Technical Features
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影像摄取系统
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SONY 1/2" High-resolution black & white CCD camera
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分辨率
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0.1um
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重复精度
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X/Y/Z=2.5um
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测量精度
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U1 x / y = (4.0+L/250)um
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U1 z = (4.0+L/250)um
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U2 x / y = (6.0+L/250)um
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光源照明系统
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同轴光（黄色LED） 轮廓光（黄色LED) 环光（黄色7向14位）
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雷射激光系统
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Keyence LKG30 光点理论直径：30um 工作范围：+-4.5um 参照距离：30mm 光波长度：650nm
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CCD两种对焦模式
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快速对焦（约1.5秒）& 高精度对焦
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雷射对焦
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单点对焦/扫描对焦
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缩放倍率
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1X物镜
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25X 50X 100X (分辨率：12801024 17")
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2X物镜
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50X 100X 200X (分辨率：12801024 17")
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焦距/工作范围
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1X物镜
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92mm/80~93mm
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2X物镜
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36mm/34~37mm
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机器特征Machine Features
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机器型式
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花岗岩床台固定桥式
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机器重量（净重/毛重）
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3800kg/4000kg
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4150kg/4400kg
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4500kg/4800kg
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4850kg/5200kg
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最大载荷
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40kg
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最高运行速度
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X、Y=350mm/s
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Z=200mm/s
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最高加速度
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1000mm/s2
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系统特征System Features
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控制系统
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全自动CNC控制系统
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驱动系统
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四轴程控：三轴交流伺服马达全闭回路控制，高精密级线性滑轨与预压滚珠螺杆驱动，步进马达Zoom同轴控制镜头组
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软件配置
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标准
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Smart Inspector Pro3.0
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选配
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制程统计管制SPC模块（网络版）；QV、VMS程序转换系统PowerMetrix离线版；3D型状误差动态分析软件；CAD整合型报表；精密测量操作系统等
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操作系统
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Windows 7
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外部工作环境Operating Environment
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电源
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220V 50～60HZ >10A
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功率
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2.0KW
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温度范围
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20℃±2℃ 1℃/1h 2℃/24h 1℃/m
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湿度范围
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40%~70%
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电脑配置
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可选（实际出货以报价单为准）
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