仪器介绍
提供多种用途探针台,包括:晶圆探针台、平板(LCD/OLED)探针台、RF探针台、LD/PD探针台、高低温探针台、表面电阻率探针台(四探针台)、霍尔效应探针台、客户订制探针台;
提供探针台部件,包括:长工作距离显微镜、防震桌、屏蔽箱、探针座及各种探针、高温卡盘、探针卡、RF探头、适配器、线缆;
已有探针台的升级;
提供与欧美产品品质相媲美、更实用、更高性价比的探针台解决方案。
现热诚向从事半导体材料、器件等方面的研究、生产单位推荐,并可承接各种特殊规格及要求的探针设备。敬请来电来函索取相关资料。
提供探针台部件,包括:长工作距离显微镜、防震桌、屏蔽箱、探针座及各种探针、高温卡盘、探针卡、RF探头、适配器、线缆;
已有探针台的升级;
提供与欧美产品品质相媲美、更实用、更高性价比的探针台解决方案。
现热诚向从事半导体材料、器件等方面的研究、生产单位推荐,并可承接各种特殊规格及要求的探针设备。敬请来电来函索取相关资料。
技术参数
真空载物台:4/6/8/12英寸 不锈钢
载物台Theta: 30度转动
压盘上下粗调:6毫米范围内控制杆调整
压盘上下微调:25毫米手动轮子调整
压盘:12微控***
显微镜台:1英寸x1英寸移动
真空泵:7升/分钟,-250mmHg
尺寸:780毫米长x660毫米宽x700毫米高
重量:80Kg
载物台Theta: 30度转动
压盘上下粗调:6毫米范围内控制杆调整
压盘上下微调:25毫米手动轮子调整
压盘:12微控***
显微镜台:1英寸x1英寸移动
真空泵:7升/分钟,-250mmHg
尺寸:780毫米长x660毫米宽x700毫米高
重量:80Kg
主要特点
Compact Size
1、同轴驱动台面
2、RF射频探针升级
3、长工作距离显微镜20~4000倍的放大
4、后座自由的运动
5、载物台快速升降
6、晶圆片取放简单
7、压盘上下精细调节
8、探针卡尖超速传动调节
9、多种探针选择:探针材质、粗细、软硬、形状等(针对不同应用)
10、BD系列、EB系列及PE系列可供选择
附件:
低电流、低电容或高压配置探针系统
RF探针、电缆
主动探针
超声切割
PCB夹具、镀金载物台
热台、冷却系统
防震台、屏蔽罩、黑箱…
1、同轴驱动台面
2、RF射频探针升级
3、长工作距离显微镜20~4000倍的放大
4、后座自由的运动
5、载物台快速升降
6、晶圆片取放简单
7、压盘上下精细调节
8、探针卡尖超速传动调节
9、多种探针选择:探针材质、粗细、软硬、形状等(针对不同应用)
10、BD系列、EB系列及PE系列可供选择
附件:
低电流、低电容或高压配置探针系统
RF探针、电缆
主动探针
超声切割
PCB夹具、镀金载物台
热台、冷却系统
防震台、屏蔽罩、黑箱…