※ 探针台与测试仪器配接后晶圆探针台用于晶圆封装前的电参数测试及功能调试,适用于科研、新品试制及小批量生产的中间测试。
※ 比较好的人性化结构设计,连动机构操可实现快速升降、平移、晶圆定位一气哈成。
※ 晶圆放置台定位钢片与操作手柄连动,XY同步定位,wafer取放方便、效率高。
※ THK直线导轨+高精度的CNC加工,定位精确,操作省力,使用寿命长。
※ 标配CCD摄像头+监视器,有极大倍率放大功能,彩色晶圆图象清晰,便于探针卡精确对位。
※ CCD摄像头自带LED照明,发热量小、发光强度高、体积小,便于对位操作。
※ 探针卡固定座能实现X、Y、Z水平和垂直移动、前后左右顷斜、水平旋转操作,立体微调功能保证探针卡与wafer引脚精确对位。
※ 重复定位精度高,对一款晶圆一次定位后,不需要用显微放大定位。