光清洗灯管/紫外线清洗灯/UV清洗灯/光清洗灯/紫外线低压清洗灯/
光清洗技术是利用有机化合物的光敏氧化作用达到去除黏附在材料表面上的有机物质,经过光清洗后的材料表面可以达到“原子清洁度”。更详尽的讲:UV光源发射波长为185nm和254nm的光波,具有很高的能量,当这些光子作用到被清洗物体表面时,由于大多数碳氢化合物对185nm波长的紫外光具有较强的吸收能力, 并在吸收185nm波长的紫外光的能量后分解成离子、游离态原子、受激分子和中子,这就是所谓光敏作用。空气中的氧气分子在吸收了185nm波长的紫外光后也会产生臭氧和原子氧。臭氧对254nm波长的紫外光 同样具有强烈的吸收作用,臭氧又分解为原子氧和氧气。其中原子氧是极活泼的,在它作用下,物体表面上的碳和碳氢化合物的分解物可化合成可挥发的气体:二氧化碳和水蒸气等逸出表面,从而彻底清除了黏附在物体表面上的碳和有机污染物。清洗时,使基板治湿性向上。玻璃基板是以滚轮方式输送,上方装置低压水银灯产生紫外线照射。玻璃基板所累积紫外线能量愈多,其表面水接触愈小,成反比关系。一般STN-LCD制作过程中,需求的玻璃基板累积紫外线能量为300nj/cm2(253.7nm)以上。而彩色STN-LCD及彩色滤光片制作过程中,要求的玻璃基板累积紫外线能量为600nj/cm2(253.7nm)。在TFT-LCD制作过程中,除了低压水银灯产生臭氧清洗玻璃外,目前制程的主流是,使用Excimer Lamp,其172nm波长紫外线的高反应性质对玻璃的清洗效率更好。
本品为公司近期利用汞剂(固体汞化合物)开发大功率、低能耗的工业用灯。由于灯工作电压仅120V~140V,故又称为低压汞剂灯,此灯有别于高压汞灯的特点,为低能耗、高辐射能量,使用寿命可达3000小时以上。同时,工艺上采用固体汞化合物替代有毒液体汞,避免用户环境污染。此灯不仅能瞬时间杀灭各种细菌、病毒,而且可用于高新技术物体表面的光学清洗技术。如半导体芯片和液晶显示器件(LCD)生产过程中表面清洁处理,也可用于食品、制药、卷烟生产流水线的灭菌。既科学又经济,在国内外已得到重视和采用。
利用大功率高能量的紫外线光辐射对吸附在物体表面的各种有害物质或油污达到分解。方便又彻底的光学清洁处理,取代了应用离子水或化学试剂做清洁处理的方法。
目前已出售给国内液晶显示器件制造产业清洁处理使用,效果良好。现已生产光学清洗低压汞灯规格有:90W、120W、170W、200W。
其253.7 nm紫外线辐射照度值:
90W灯≥30mW/cm2
120W灯≥32mW/cm2
170W灯≥36mW/cm2
200 W灯≥42mW/cm2
灯点亮后待释汞、吸汞进入平衡状态(约需要30~40分钟),测量时探头置于距灯表面中心距离10mm处,读出仪表显示数值。
使用时切勿使此波长紫外线照射人体(注意防护),以免灼伤眼睛和皮肤!