6JA干涉显微镜是用来测量精密加工零件表面（平面、圆柱等外表面）光洁度的仪器。也可以用来测量零件表面刻线、刻槽镀层（透明）等深度。仪器配以各种附件，还能测量粒状，加工纹路混乱的表面，低反射率的工件表面。同时还能将仪器安置在工件上，对大型工件表面进行测量。仪器测量表面不平深度范围为1-0.03微米，用测微目镜和照明方法来评定▽10-▽14光洁度的表面。本仪器适用于厂矿企业计量室，精密加工车间，也适用于高等院校，科学研究单位。
二、技术指标
目镜：测微目镜12.5X，测微鼓轮分划值0.01mm
仪器放大倍数：500X
仪器视场：ф0.25
物镜：数值孔径0.65mm，工作距离0.5mm
标准镜：高反射率≈50%，低反射率≈4%
工作台：升降范围5mm，XY方向移动范围≈10mm，360度旋转
绿色干涉滤色片：波长λ≈5300A，半宽度▽≈100A
测量表面光洁度范围：▽10-▽14（相当于测量表面不平深度范围为0.1um-0.03um）
光源：电珠灯泡6V15W，亮度可调