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罗茨泵的特点是：1．转子与泵腔、转子与转子之间有一定的间隙，互不接触，不需要用油润滑。2．转子具有良好的几何对称性，可以提高转速，从而能够制造出结构紧凑的大抽速泵来。3．泵工作时振动小，容积大，容积利用系数＝0.5左右。4．在泵腔内并不发生像机械真空泵那样的压缩现象，因此它不需要排气阀。也正因如此，可抽除可凝性蒸汽。5．启动快，能够在短时间内达到极限真空。功率小，运转维护费用低。6．罗茨泵在很宽的压力范围内（1000P a～1P a）有很大的抽速，能迅速排出突然放出的气体，弥补了扩散泵和油封机械泵在（1000Pa～1Pa）时抽速都很小的缺陷。因此，它最适合作增压泵用。
罗茨泵广泛用于真空冶金工业的真空脱气、真空熔炼、钢水真空处理，以及空间模拟、低密度风洞等装置中抽除非腐蚀性气体。也可以用于化工、食品、医药、电机制造等工业的蒸馏、蒸发、干燥等生产过程。
工作时，被抽气体由进气口进入转子与泵体之间，这时一个转子和泵体把气体与进气口隔开，被隔开的气体（如图上影线部分所示），在转子连续不断地旋转过程中，被送到排气口。空间是处在封闭状态，因此，没有压缩和膨胀。但当转子的峰部转到排气口边缘时，由于V部分的压力较之排气口处的压力低，为了使相连体积内压力均匀，气体就会从排气口处扩散到V区域，其扩散方向与转子旋转方向相反。当转子再转动时，把V处的气体压缩到排气口将其排出。这时转子的另一面与进气口相连部分则吸入气体，当转子不断地旋转时，重复上述抽气过程不断地排出流进来的气体。这种工作过程相当于转子空间由某一最小值增加到最大值，然后再由最大值减小到最小值。这就是罗茨真空泵的容积作用原理。
罗茨泵在入口压力很低情况下工作时，由于转子转速很高，转子表面的线速度接近于分子的热运动速度，这时碰撞在转子上的气体分子被转子推带到压力较高的排气口，再被预真空泵排除。这就是罗茨真空泵的分子作用原理。
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