产品功能
对各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波纹度、共面性、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、蚀刻情况、弯曲变形情况、加工情况、材料支撑率等表面形貌特征进行测量和分析。被测物体的尺寸通常不大于150*100mm，更大尺寸的测量系统可以定做；工作台最大承载重量40Kg。
产品广泛应用于汽车工业、航空航天、造纸工业、钢铁工业、薄膜加工、半导体加工、MEMS等行业。
应用范围
* 机械密封的平面度和粗糙度测量；
* 电子元件表面的平面度、翘曲度和粗糙度测量分析；
* BGA焊料球的共面性、封装是否变形以及所有的焊料球是否都存在的检查分析；
* 造纸行业对纸张表面的纹理分析；
* 膜片的厚度及涂层的高度测量等；
* 化学蚀刻产品的蚀刻深度和面积测量；
* 压花材料表面特征分析，如合成材料人造皮革表面形貌测量分析；
* 丝印装置涂层厚度测量，如电子产品和生物医疗器械等；
* 轧制铝膜和钢板表面情况进行三维分析；
* 法医学上三维表面形貌测量分析；
* 压电陶瓷部件的轮廓和表面形貌特征测量分析；
* 牙齿的腐蚀和磨损情况分析；
* 医学上如人造皮肤的轮廓分析；
* 沟槽深度和截面计算分析；
* 激光蚀刻表面的雕刻深度测量；
* 各种柔软材料、易腐蚀材料、传统接触方式无法检测的产品的表面形态测量和分析；
* 其他各种小型部件的平面度、粗糙度、波纹度和轮廓测量分析。
产品介绍
英国Scantron Industrial Products Ltd公司生产的Proscan 2000光学式表面粗糙度轮廓形貌仪，采用非接触式传感器扫描技术，用于对各种产品和部件的表面形貌特征进行测量和分析，它比传统的探针式轮廓仪操作更方便，测量精度更高。由于采用非接触无损的测量方式，避免了对被测物体造成划痕和磨损，尤其适用于各种柔软材料、易腐蚀材料和传统方式无法检测的表面形态测量和分析。
Proscan 2000光学式表面粗糙度轮廓形貌仪最大扫描速度可达到80mm/秒，每秒2000个数据点，每行可扫描20000个独立的数据点，垂直测量分辨率最高可达到5nm，最小测量范围0-110μm，最大测量范围0-50mm。
Proscan 2000以花岗岩为工作平台，是快速、精准、非接触式的三维表面形态测量仪器。广泛应用于各种表面轮廓和形貌特征精确测量分析的场合。高性能非接触式光学传感器扫面范围是150mm（长）X100mm（宽），使用色差传感器，每秒可测量1000个数据点，使用三角激光传感器每秒可测量10000个数据点，对被测件平面的扫描点数最多可达576万个数据点。配套软件可以对各种测量参数进行分析。
产品特点
* 花岗岩框架结构，受热胀冷缩影响非常小，基本没有振动。
* 配套软件可以以二维或三维的方式对数据进行形貌分析。
* 数据分析结果方便导出，导出格式有ascii 、ZZZZ...LF及XYZLF...CR’a’等。
* 数据分析也可选择二维X-Y平面视图，还具有三点平面修正和自动水平功能。
评定参数
Am 轮廓算术平均值
Ra 轮廓算术平均偏差
Rz（DIN） 峰谷高低平均值
Rz（ISO） 微观不平度十点高度
Rmax 轮廓最大高度
Rp 平均轮廓波峰高度
Rq 粗糙度均值平均方根
Rpm 峰值高度最大值
Rvm 谷值深度最大值
R3z 算术平均第三峰谷间高度
Wt 波形深度总值
Pt 轮廓深度总值
Nr 峰值计数归一
Tpa 材料支撑率（宏）
D 峰值密度
S 轮廓单峰平均间距
Sm 轮廓微观不平度平均间距
Lm 取样长度
共面性
Warpage滤波器，过滤表面粗糙度数据，而仅保留轮廓数据
Surface滤波器，过滤表面轮廓数据，而仅保留粗糙度数据
对单点进行编辑
在X和（或）Y轴上进行插值
半径计算
体积计算
表面积计算
截面积计算
三维轮廓显示
技术规范
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扫描仪最大尺寸（长*宽*高） |
740*542*（780-835）mm |
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扫描仪最大重量 |
40Kg |
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电控部分尺寸 |
570*700*750mm |
|
电控部分重量 |
40Kg |
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计算机显示器 |
15” LED显示器 |
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照明与定位摄像头（可选） |
14” CRT |
|
扫面平台尺寸 |
380*280mm |
|
X和Y轴行程 |
150mm*100mm |
|
Z轴行程 |
100mm |
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电源 |
220 - 240 VAC, 50/60Hz |
|
使用环境 |
10-35℃ |
|
X及Y轴扫描点最小间隔距离 |
1μm |
|
X及Y轴扫描点最大间隔距离 |
9.999mm |
|
标准配置扫描样品最大重量 |
6Kg |
|
数据采集最大速度（取决于传感器及设定） |
20000点/秒 |
|
最大扫描速度（取决于传感器及设定） |
80mm/秒 |
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回程速度 |
100mm/秒 |
|
最大扫描点数 |
576万点 |
传感器选型方案
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传感器 型号 |
垂直 测量范围 |
物镜测量距离 mm |
分辨率 |
线性度 （%+/-量程） |
技术 原理 |
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S3/011 |
110μm |
3.3 |
5 nm |
0.1 |
白光色差技术 |
|
S11/03 |
300μm |
11 |
12 nm |
0.1 |
白光色差技术 |
|
S13/1.1 |
1.1 mm |
12.7 |
25 nm |
0.1 |
白光色差技术 |
|
S16/2.5 |
2.5mm |
16.4 |
75 nm |
0.1 |
白光色差技术 |
|
S29/10 |
10mm |
29 |
280 nm |
0.1 |
白光色差技术 |
|
S20/20 |
20mm |
19.6 |
600 nm |
0.1 |
白光色差技术 |
|
L25/2H |
2 mm |
25 |
0.1 μm |
0.05 |
三角测量技术 |
|
L35/10H |
10 mm |
35 |
0.5 μm |
0.03 |
三角测量技术 |
|
L50/20H |
20 mm |
50 |
1 μm |
0.03 |
三角测量技术 |
|
L70/50H |
50 mm |
70 |
2.5 μm |
0.03 |
三角测量技术 |
各种可选项
* 照明与定位摄像头，用于小型部件的定位和缺陷检查；
* 其他各种传感器；
* 仿制材料，用于对不容易进入的区域和对表面测量有困难的场合；
* 比标准的X和Y行程范围更大的测量平台。
产品尺寸图
应用举例
一、电子元件的形貌检查
电子元件的原貌
对单个BGA的扫描结果
100%检测BGA（包括穴距）和倒装芯片的包装情况，自动分析共面性、球面高度、球的位置和包装扭曲情况；分析丝焊高度和轮廓；亚微米级分辨率，三维图形显示平均、最大和最小深度。
二、部件表面粗糙度测量
被测部件原貌
扫描后的结果分析
精确分析被测部件的表面纹理、波面度和形态特征，符合ISO和DIN的粗糙度国际参数分析标准，包括Ra、Rz、Rmax、Rq、Rvm、Rpm、Pt、Nr、D、Sm、Wt和Tpa等。可测量出平面度、表面积、体积、承载比和部件的精确尺寸。
三、纸张类表面的纹理分析
扫描前的产品原貌
扫描后的分析图
对板材类、纸张类产品的表面进行纹理和形貌特征分析，自动计算各种表面分析的参数，如Ra、Rz、Rmax、Rvm、Rpm、Sm和材料比等，测量速度快，结果准确，操作简单。
视频资料
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样本下载
光学式表面粗糙度轮廓形貌仪2000.pdf
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