Hicube 80分子泵组优点： 1. 涡轮分子泵和前级泵的完美结合；适合多种应用需求 2. 模块化设计原则轻松满足客户多种应用需求 3. 各部件配合简便，易于保养维修 4. 集成的驱动系统，无需额外的控制系统 5. “即插即用”-无需布线和安装 6. 结构坚固，服务寿命长，可靠性高 7. 意外断电时，前级真空安全阀（可选）可保护真空腔体免受返流影响
