硅片崩边在线检测系统采用进口部件:系统应用 系统适用于硅片加工生产线,系统融入硅片生产厂已有的生产线,跨越安装在硅片生产线上,实现自动检测硅片: l用于不同加工工艺分道:硅片可能需要经过复杂的后加工工艺(化学抛光,拉单晶,检验等等),配合分道装置将硅片导向不同产线分支; 配合各种整线方案:根据工厂的需要,配合各种自动机械应用。
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硅片崩边在线检测系统采用进口部件:系统应用 系统适用于硅片加工生产线,系统融入硅片生产厂已有的生产线,跨越安装在硅片生产线上,实现自动检测硅片: l用于不同加工工艺分道:硅片可能需要经过复杂的后加工工艺(化学抛光,拉单晶,检验等等),配合分道装置将硅片导向不同产线分支; 配合各种整线方案:根据工厂的需要,配合各种自动机械应用。