此款为智能电源：用于磁控溅射镀膜的偏压控制
1、主要参数
(1)输入电压：AC 380±10%V
(2)输出功率：40KW
(3)输出电压：负极性电压200~800V,最高电压>1KV
(4)输出电流：0~50A（可调）
(5)输出频率：40KHz
(6) 稳压，稳流，稳功率全部自适应，自动切换。
(7)控制方式：1、电源面板按键控制，液晶显示器显示各种参数。
2、TTL接口控制：高电平(5±2V)
，低电平0~2V
，DB9,9针接口控制。（前期产品可选配模拟或数字接口，后期产品同时具备模拟接口和数字接口。出厂默认模拟接口）
①外部模拟接口：通过外部0~5V的模拟电压控制，工作状态，输出电流，外控保护。
②外部数字接口：通过外部RS232，485或光纤等与上位机连接，通过设定的通讯协议控制电源的各种状态。并且能够返回电源的运行状况。
(8)中英文液晶显示器显示
(9)使用环境：温度（0～35）℃湿度：≤85%
(10)冷却方式：水冷。
2、外形尺寸：480mm*263mm*550mm
3、安装尺寸：6U 600mm 机柜式安装
4、特点：体积小，重量轻，效率高，结构简单，操作简单但功能强大，稳定可靠，等优点。
电路采用模块化设计，调试维修方便。
独有的完善保护，使电源能够工作于各种复杂的环境，中英文提示功能，使问题清晰准确。
能够镀绝缘膜层，不产生电弧，工作效率高，负载适应范围宽
数字接口优势：
1)数控电源由于电源的所有部件都由MCU实时的监控，使得电源的可靠性远高于传统开关电源。
2)由于MCU指令的执行速度很快达到纳秒级，所以对于抑弧很有好处，可以根据工作情况，智能的抑制电弧的产生，从而保证膜层均匀，避免工件表面损伤。
3)数字产品易于标准化，而且生产调试简单，不像模拟器件那样存在差异，使得产品的一致性很高。
4)由于采用软件控制，控制板的体积将大大减小，从而减轻了设备的重量，给产品的运输安装维护带来方便。
5)控制灵活，功能强大，系统升级方便。针对不同的材料，不同的工艺可以通过更改设置参数达到一台电源多种功能，降低使用成本。
6)系统维护方便，一旦出现故障，可以很方便地通过故障查询，历史记录查询，故障诊断，软件修复，控制参数的在线修改、调试，甚至可以远程操作。从而大幅度的降低维护时间和费用。提高用户满意度。
7)控制精度高，数字电源不会受到温度，湿度，器件老化等的影响达到很高的精度和稳定性，是传统开关电源所望尘莫及的。使产品的长期一致性得到保障。
8）易组成高可靠性的多模块逆变电源并联运行系统。每个并联运行的电源单元模块都采用全数字化控制，易于在模块之间更好地进行均流控制和通讯或者在模块中实现复杂的均流控制算法，从而实现高可靠性、高冗余度的逆变电源并联运行系统。