详细信息
罗茨泵与油旋片真空泵、水环泵组合用，可在压力1.3×103~1.3×10-1Pa范围内提高抽气速率。NB系列罗茨泵是专为洁净度要求较高的场合而设计的。
特长
结净的真空
腔体内没有润滑油，对水蒸气、溶剂等气体也有稳定的排气性能。
能在高吸入压强下运转
选用比标准电机容量大一级的电机，即可实现在高吸入压强下的运转。
用途
照明、电子、光学、半导体
镀膜、溅射、离子镀、液晶注入
真空干燥、冷冻干燥、真空脱气
真空热处理炉、烧结炉、钎焊炉
分析仪器、检漏设备，CO2激光设备
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机 型
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NB100A
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NB300A
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NB600A
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NB1200A
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项 目
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抽气速率*3
m3/h（L/min）
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50Hz
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95(1580)
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280(4670)
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500(8330)
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1000(16667)
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60Hz
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115(1920)
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330(5500)
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600(10000)
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1200(20000)
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最大吸入压力 Pa
(连续运转时)
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50Hz
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1.3×103
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1.2×103
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1.3×103
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60Hz
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1.3×103
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9.3×102
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1.1×103
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最大允许压力差 Pa
(排出压力-吸入压力)
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50Hz
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8.0×103
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4.0×103
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7.3×103
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60Hz
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6.7×103
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3.3×103
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6.0×103
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极限压力 Pa*1
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4.0×10‐1
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6.7×10‐1
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标准粗抽泵
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GLD-N280
VDN301
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VDN401
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VSN1501
VSN2401
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VSN1501
VSN2401
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电 机
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kW (极) *2 *4
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0.4（2）
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0.75（2）
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2.2（2）
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3.7(2)
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V-Hz
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380/400/415V-50Hz、380/400/440V-60Hz
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使 用 油
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ULVOIL? R-4
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所需油量 L
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0.35
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0.70
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1.50
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1.90
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冷却水量 L/min*6
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空 冷
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2 *5
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2
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3
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进水压力 MPa
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－
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0.3
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进出水压差 MPa
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－
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0.05
|
0.1
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重 量 kg
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24
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49
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77.5
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110
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吸气口径 (JIS B 2290)
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相当 VG50
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相当 VG80
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相当VG80
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相当VG100
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排气口径 (JIS B 2290)
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相当VF50
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相当VF80
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相当VF80
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相当VF80
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*1 用皮拉尼真空计测量的值，如用麦氏真空计测量，则为4.0×10-2Pa（3.0×10-4Torr），而NB1200A则为6.7×10-2Pa（5.0×10-4Torr）。
*2 电源为AC380V、50Hz、三相。
*3 随粗抽泵的性能而变化，表中为标准泵的组合的数据。
*4 NB300A、NB600A、NB1200A可分别选购1.5kW、3.7kW、5.5kW的大容量电机。
*5 对于530Pa（4Torr）以下可用空冷，但530Pa(4Torr)以上进行连续运转必须用水冷。
*6 冷却水温为5～30℃。
