仪器特点：
1.高速摄像头, 扫描速度高达100微米/秒。 在高速测量时可减少丢失点、降低环境的影响， 保证测量结果的准确性。
2.改进拼接功能， 在大面积拼接测量中显著缩短测量时间。 无需增加额外费用， 就可检测更多部件、检测更完整和更详细， 极大地提高成本效益。
3.单一扫描模式， 全新的测量概念。 具有专利的“相干相关”算法能够在任意扫描范围内实现亚埃级分辨率， 处于任一生产阶段的所有表面均可使用相同的测量技术在同一仪器上进行测量和比较。
4.内置平台整合了ISO国际标准中对三维形貌定义的所有结果， 是一台可用于标定的计量仪器。
检修方法：分光板膜层应是入射光的第二面，如装在第一面，则调出的等倾干圆涉环是直的椭圆形干涉环，可旋松分光板的三只宽头螺钉，取出分光 板，反过180°重新装入金属框内，把三只宽头螺钉旋到原来的压紧力。分光板调整请参考故障检修方法。分光板，补偿板的宽头螺钉，移动镜及参考镜的调节滚花螺钉压紧 力过大，使各镜片逐步变形产生等倾干涉圆环不规则，适当放松过紧的 螺钉即可消除。
干涉仪的维护:
1.仪器应妥善地放在干燥、清洁的房间内，防止振动，仪器搬动 时，应托住底座，以防导轨变形。
2.光学零件不用时，应存放在清洁的干燥盆内，以防止发霉。反光镜、分光镜一般不允许擦拭，必要擦拭时，须先用备件毛刷小心掸去灰尘,再用脱脂清洁棉花球滴上酒精和乙醚混合液轻拭。
3.传动部件应有良好的润滑。特别是导轨、丝杆、螺母与轴孔部分，应用T5精密仪表油润滑。
4.使用时，各调整部位用力要适当，不要强旋、硬扳。
5.导轨面丝杆应防止划伤、锈蚀，用毕后，仍保持不失油状态。
6.经过精密调整的仪器部件上的螺丝，都涂有红漆，不要擅自转动。
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