产品介绍：
抽真空系统组成：真空系统管路、扩散泵机组/分子泵机组、预抽前级罗兹泵机组、水冷系统、加热系统、电器保护系统、自动控制系统。
产品属性：
电控技术要求扩散泵机组和罗茨泵机组可进行手动控制和自动控制。罗茨泵机组：1.机械泵与罗茨泵可进行手动和自动控制。2.机械泵进气口有防返油装置。3.扩散泵排气口有防返油装置。4.扩散泵排气口安装真空规管，可显示真空度，在真空度过低时保护扩散泵。真空阀可进行手动控制和自动控制，并根据设备当前工作状态防止误操作并报警提示。系统具备自动保护功能和手动操作功能。