光催化氧化技术利用光激发氧化将O2、H2O2等氧化剂与光辐射相结合，以Tio2作催化剂。所用光主要为紫外光，可选用微波无极灯管或UV紫外灯管，使Tio2催化剂在光的照射下激发产生电子-空穴对，吸附在半导体上的溶解氧、水分子等与电子-空穴作用，产生·HO等氧化性极强的自由基，再通过与污染物之间的羟基加和、取代、电子转移等式污染物全部或接近全部矿化。
一、恶臭废气利用排风设备输入到本净化设备后，先经过过滤网去除大分子和颗粒，既对废气进行初级处理；其次净化设备运用特制高能光波及臭氧对恶臭气体进行协同分解氧化反应，利用高能UVC裂解恶臭气体中细菌的分子键，破坏细菌的核酸（DNA），再通过臭氧进行氧化反应，彻底达到脱臭及杀灭细菌的目的；
二、利用高能高臭氧光波分解空气中的氧分子产生游离氧，即活性氧，因游离氧所携正负电子不平衡所以需与氧分子结合，进而产生臭氧。众所周知臭氧对有机物具有极强的氧化作用；
三、在特殊光线的作用下，光触媒会产生强烈催化降解功能：能有效地降解空气中有毒有害气体，能有效杀灭多种细菌，并能将细菌或真菌释放出的毒素分解及无害化处理，同时它还具备除臭、抗污等功能。为此，此设备还可以加纳米级TiO2净化模块（参数比例由公司研发，属保密专利）装置，再一次对废气进行催化氧化净化处理；
四、针对有些废气成份比较复杂的、顽固的处理对象，我们采用最新研发的、多波段工艺进行处理也称微波光催化处理技术。它是利用特殊的微波发生器，产生特定波段的高能光波，通过无极光源对废气分子链进行裂解的专业技术。首先，利用引风机和管道将污染物分子引入光催化区，大体要经历电子轰击---强氧化剂OH的氧化---高能光波催化分解---臭氧氧化---电子轰击---强氧化剂-OH的氧化---臭氧氧化---正氧离子氧化等过程。
五、效率比较
采用高能UV紫外线，在光解净化设备内，裂解氧化恶臭物质分子链，改变物质结构，将高分子污染 物质裂解、氧化为低分子无害物质，其脱臭效率可达99%，脱臭效果大大超过国家1993年颁布的恶 臭物质排放标准（GB14554-93），能处理氨、硫化氢、甲硫醇、甲硫醚、苯、苯乙烯、二硫化碳、 三甲胺、二甲基二硫醚等高浓度混合气体。
