激光扫描测径仪目前是国内最常见也是用的较多的测径仪,最早由国外beat公司开发,激光扫描测径仪主要适合大直径测量,据有精度高,测量速度快等特点。激光扫描测径仪利用旋转的八面镜将射来的激光扫描成光带,再由被测物在光带上形成阴影宽度,其投影宽度可以通过光电二级管接收并转换为数字信号测量得来。现阶段,激光扫描测径仪精度可达到0.5um,小直径测量由于其光斑本身比被测物大,且产生干涉衍射现象,不容易较好的测量,但蓝鹏测控的测径仪可利用扫描测量原理实现。
激光衍射测径仪只适用于测小直径的细丝,要求必须是越细越好才可以。由于是从德国引进的一项新技术,所以会有一些限制,此技术是利用衍射原理,只有当波长与被测物相近或大于被测长物时衍射最明显。精度由于限于标准样件和测试环境的影响,现在只0.2um左右,但其重复性精度相当高,所以只要有标准样件和良好的测试环境,精度是可以再次大提高的,这也是细丝测径仪的一个发展方向。蓝鹏测控的产品是可以测到5um到300um的细丝,甚至测量到500um。
CCD投影测径仪在很多企业已经开始广泛应用了,其光源采用波长较长的红外光,抗干扰较强,由于少了许多机械件,所以设备较稳定可靠,但CCD成像受相素的制约,在精度上不太容易拓展,特别是大直径的物体测量,但又不能太细,太细会有扫描测径仪相同的问题。