Mini系列功能配置简单，结构设计简洁，可应用于I-V/C-V测试、RF测试分析测试中。
简易的功能配置，可满足用户基础的测试需求。载物台基座同轴X-Y调节旋钮，配合第三方向的机械刹车臂，可快速精准地定位载物台。载物台360°R轴粗调，可快速地对准探针和被测点。载物台真空吸附采用旋钮开关，相较于真空拔子开关，旋钮开启和关闭真空的过程中不会产生震动，可很好地保护探针和被测点。探针台底座配置防震脚垫，能有效减弱传导至探针台的外部震动，提升Mini系列的稳定性。
Mini系列对功能性和便携性进行了最佳的整合。结构设计小巧紧凑，全内置的载物台真空管路和接地线路，让用户在无干扰的情况下更加简单高效地进行测试。
技术指标
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载物台 |
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尺寸 |
4"(101.6mm) |
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材质 |
不锈钢 |
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平整度 |
≤±2.5μm |
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真空区域 |
0，2"，4"，环形吸附 |
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真空控制 |
手动控制，独立真空区域 |
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载物台电性能 |
载物台信号导通，可选择接地或接信号 |
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载物台移动基座 |
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X-Y轴行程范围 |
2"*2"(50.8mm*50.8mm) |
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精度 |
10μm |
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R轴粗调角度范围 |
360° |
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探针座放置平台 |
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材质 |
钢（表面沉镍处理） |
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平台板尺寸 |
可放置8个SE40或4个SE80 |
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平台板至载物台高度 |
1.496"(38mm) |
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探针座兼容性 |
可兼容磁力或真空吸附底座的探针座 |
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显微镜基座 |
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支撑杆 |
不锈钢支柱 |
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调焦行程 |
2"(50mm) |
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显微镜 |
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类型 |
体视显微镜 |
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光学放大倍率 |
15X-100X |
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其它信息 |
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台体尺寸 |
440mm*280mm*495mm（W*D*H） |
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重量 |
21kg |
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设备环境要求 |
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电源 |
220V±10% |
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真空 |
-8bar |
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压缩空气 |
0.6MPa |