低温等离子体废气治理技术是一个集物理学、化学、生物学、自动控制和环境科学于一体的交叉综合性技术，是目前国内外废气污染治理中最具前景、有效的技术方法之一，该技术显著特点是对污染物兼具物理作用和化学作用。
低温等离子体净化作用机理包含三个方面：
一、高频电场产生的能量能够在瞬间打开某些有害气体分子的化学键，使之分解为单质原子或无害分子;
二、等离子体中包含大量的高能电子、正负离子、激发态粒子和具有强氧化性的自由基，能与有害气体分子发生化学反应，最终生成无害产物;
三、等离子体中的正负粒子使微生物表面产生的电能剪切力大于其细胞膜表面张力，致使细胞膜遭到破坏而导致微生物死亡。
低温等离子治理范围：
低温等离子体的电子能量高、自由基密度大，因此绝大部分异味分子均能被分解，且处理对象广泛，可对以下物质进行有效净化：