低温等离子过氧化氢灭菌器灭菌过程：灭菌室达到一定真空后，打开装有过氧化氢的容器与灭菌室之间的阀门，液体状的过氧化氢经提纯加热室提纯加热后，气化扩散至灭菌室的整个空间;过氧化氢本身具有较强的杀菌作用，在过氧化氢扩散过程中可杀灭被处理物品表面的部分细菌病毒；当灭菌室与网状电极之间加上高频电后，灭菌室中的过氧化氢气体在高频电场的作用下，被解离为带电粒子，形成等离子体，等离子体形成过程中产生大量紫外线直接破坏微生物的基因物质；紫外光子固有的光解作用打破微生物分子，最后生成挥发性的化合物如CO、CHx，通过等离子体的作用，及等离子体中活性物质与微生物体内的蛋白质和核酸发生化学反应，能够摧毁微生物和扰乱微生物的生存功能，同时在这种等离子体中，电子温度很高，而离子温度近乎室温，这就实现了既不因高温而改变被灭菌物品的结构性能又能达到高效灭菌的目的。
等离子过氧化氢灭菌的特点
低温等离子过氧化氢灭菌器通过过氧化氢灭菌剂和等离子体对临床医疗器械灭菌，可以在低温（50℃左右）和高压下进行对物品的灭菌，特别适用于畏热、畏湿敏感的医疗器械灭菌。
等离子过氧化氢灭菌过程环保无污染，在灭菌过程中仅排出少量氧气和水蒸气，对环境无害，无需加换气通风装置。
等离子过氧化氢灭菌周期短，相比低温甲醛灭菌、环氧乙烷灭菌时间大大减少，仅需一小时左右，适用于紧急情况时和连台手术时手术器械灭菌，提高器械的使用率和周转率。
结构特征
总体结构
低温等离子过氧化氢灭菌器(以下简称灭菌器)由灭菌舱、灭菌物品架、过氧化氢蒸汽发生器、等离子电极、高频发生器和控制单元组成。
材料应用
由于过氧化氢是一种强氧化剂，对某些材料有一定的腐蚀作用，同时也会引起过氧化氢的变质，因此凡是接触过氧化氢的原材料，包括仪表的选择方面，本机都满足以下几个方面：
A. 耐过氧化氢腐蚀；
B. 不导致过氧化氢质量的降低；
C. 不能产生导致环境污染或产生其他有害物质。