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真空泵前通常会先向泵中加入一定量的油，使用过程中也会定期检查油量多少，这样可以避免真空泵出现磨损。一般真空泵需要加专门的真空泵油，而且所选的油还需要满足下面几点要求：更多详情就在
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1.饱和蒸汽压：是真空泵油的一个关键指标，油品的饱和蒸汽压要尽量低，泵在高温条件下工作时，所用油仍要具有足够低的饱和蒸汽压，并要低于真空泵规则的极限压强，在60℃温度条件下至少要到达6．5×10-5kPa(因温升每上升20℃，饱和蒸汽压大约要下跌一个数量级)。
2.光滑性：摩擦面的磨擦磨损、外表疲倦磨损以及腐蚀磨损等，都与光滑条件有关，光滑性好的油有利于抑止腐蚀磨损，能够有效地减轻粘着磨损和外表疲倦磨损；流体光滑剂对摩擦面具有清洗作用，也可减轻磨擦磨损。
3.降温冷却性能：降低摩擦面的温度是光滑的一个重要作用，摩擦面运动时必需克制摩擦力而作功，耗费在克制摩擦力上的功全部转化为热量，其结果将惹起摩擦面温度上升。摩擦热的大小与光滑状态有关，粘度高的热量大，粘度低的热量小，而边境摩擦的热量则介于两者之间，由此可见，用适宜粘度的真空泵油不只能够完成液体光滑，减少摩擦热的产生，而且还能够将摩擦热及时地带出泵体外。
真空泵厂家建议用户使用真空泵前要按照要求加合适的润滑油，所加的油需要满足上述几点要求，这样可以有效避免泵在运转过程中出现严重的磨损。
