1、 主要适用于实验、科研、医学及小规模的生产领域。
2、 特点：成本低，整机机械、电气结构简单、实用，易维护。
3、 控制方式：手动或自动控制模式，利用各简单元器件的巧妙组合成自动控制体系，各参数调整好后，一键完成整个清洗工艺。
4、 电源功率、清洗时间、气体流量、净化真空度等参数可设置。
5、 射频电源手动匹配（自主研发的全固态晶体管输出型）
6、 浮子精密气体流量计、针阀等控制工艺气体流量。
7、 清洗完成有提示音
8、 反射功率过大报警
9、 工艺气体耗尽报警
10、泵热过载报警
11、反应仓泄漏报警
12、电极采用高通量等离子结构，牢固可靠易拆卸。
13、反应仓为矩形不锈钢腔体，水平电极板放置，间距可调。
14、真空泵采用双腔式旋片泵，极限真空度可达2Pa以下，一般采用外置。
15、真空泵可选配液位低报警装置
