4000A（400nm）植入式栅极氧化固态剂量计

技术要求

典型数值在27°C

氧化层厚度4000A

辐射Vth灵敏度

辐射场= 0.125 MV/cm : 灵敏度= 1.33mV/rad
辐射场= 0 MV/cm : 灵敏度= 0.463mV/rad
(灵敏度在 1.5 krad(H₂O)，在以下读写器的配置中使用一个恒量10µA)

温度补偿

TVTC 2.5mV/°C
(该数据出自温度27°C-100°C线性模式中的外推Vtp数值.)

线性模式中Z.T.C. 数值~ -500nA
(Vs=Vb=0, Vds=-0.1)

饱和模式中Z.T.C.数值~ -1µA
(使用以下读写器电路配置)

预辐射剂量计的特点

阈值电压（外推） -1.0 +/- 0.4V

Vth漂移时间（秒） 2.5mV/十年
(该数据出自读写器配置强迫40µA)

氧化层击穿电压~280V

沟道漏电流 Vd=-12, Vg=Vs=Vbulk=0 ~ 25 pA

亚阈值斜率220 +/- 20 mV/decade

沟道电阻 Vgs-Vth=5V, Vds=-0.1 ~ 0.75 Mohms

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