低温等离子净化设备在废气处理中的应用随着工业的发展逐渐的增多，工业生产中产生出的废气在大气中停留的时间很长，同时还会扩散漂移到其他的地方，终造成环境的污染，平时在生活中，如果人体吸入这些废气，就会对人体健康造成很大的危害。传统的废气处理方法会受到很多条件的限制，但是使用低温等离子进行废气处理受到的限制就会相对少很多，同时它还具有很多潜在的优势。
低温等离子净化器内部产生富含 化学活性的粒子，如电子、离子、自由基和激发态分子等。废气中的污染物质与这些具有较 量的活性基团发生反应，终转化为CO2和H2O等物质，从而达到净化废气的目的。
低温等离子净化器去除污染物的机理：
低温等离子净化器化学反应过程中，等离子体传递化学能量的反应过程中能量的传递大致如下：
(1)电场＋电子→ 电子；
(2) 电子＋分子(或原子)→(受激原子、受激基团、游离基团)活性基团；
(3)活性基团＋分子(原子)→生成物+热；
(4)活性基团＋活性基团→生成物+热。
从以上过程可以看出，电子先从电场获得能量，通过激发或电离将能量转移到分子或原子中去，获得能量的分子或原子被激发，同时有部分分子被电离，从而成为活性基团；之后这些活性基团与分子或原子、活性基团与活性基团之间相互碰撞后生成稳定产物和热。另外， 电子也能被卤素和氧气等电子亲和力较强的物质俘获，成为负离子。这类负离子具有很好的化学活性，在化学反应中起着重要的作用。
低温等离子净化设备的净化方法：
低温等离子净化设备在进行工作的时候，它主要采用到了 的吸附、分解、碳化的方式，离心式抽风机的安装和工艺技术的应用让等离子净化器具有着多的优点，它也是一种干法处理废气的设备。等离子净化器在工业中的应用改变了活性炭材料的工艺和技术，在使用的时候换维护都会加的方便一些。
低温等离子是一种聚集态物质，它不同于我们所认识的固体、液体、气体，它是物质的第四种形态，在运行过程中当外加电压达到了气体放电的电压的时候，气体就会被击穿，这时就会产生出各种离子和原子在内的混合体，虽然在放电过程中电子的温度非常高，但是重粒子的温度却是很低的，这时整个体系都会呈现出低温的状态，因此它也就被称之为是低温等离子体了。