产品基本资料： 产品名称：红外线测量光幕； 产品类别：红外线测量光幕； 价格：1； 企业类型：有限责任公司； 主营产品或服务：红外线测量光幕； 联系人姓名：王女士；产品详细资料：3.红外线检测光栅的基础——莫尔条纹（Moirefringes）是由英国物理学家LRayleigh首先提出的。到20世纪50年代才开始利用光栅的莫尔条纹进行精密测量。根据形成莫尔条纹原理的不同，激光可分为几何光栅（幅值光栅）和衍射光栅（相位光栅），又可根据光路的不同分为透射光栅和反射光栅。微米级和亚微米级的光栅测量是采用几何光栅，光栅栅距为100μm至20μm，远大于光源光波波长，衍射现象可以忽略，当两块光栅相对移动时产生低频拍现象形成莫尔条纹，其测量原理称影像原理。纳米级的光栅测量是采用衍射光栅，光栅栅距为8μm或4μm，栅线的宽度与光的波长很接近，则产生衍射和干涉现象形成莫尔条纹，其测量原理称干涉原理。现将德国Heidenhain公司产品采用的三种测量原理加以介绍。反射标尺光栅是采用40μm栅距的钢带，指示红外线检测光栅扫描掩膜）用两个相互交错并有不同衍射性能的相位光栅组成，为此，一个扫描场就可以产生相移为1／4栅距的四个图象，称此原理为准单场扫描的影像测量原理。由于只用一个扫描场，标尺光栅局部的污染使光场强度的变化是均匀的，并对四个光电接收元件的影响是相同的，因此不会影响光栅信号的质量。与此同时，指示红外线检测光栅和标尺光栅的间隙和间隙方差能大一些。对于栅距很小的光栅，指示光栅是一个透明的相位光栅，标尺光栅是自身反射的相位光栅，光束是通过双光栅的衍射，在每一级的诸光束相互干涉，就形成了莫尔条纹，其中+1和-1级组干涉条纹是基波条纹，基波条纹变化的周期与光栅的栅距是同步对应的。
