X射线和β射线反射法可以无接触无损测量，但装置复杂昂贵，测量范围小。因有放射源，故使用者必须遵守射线防护规范，一般多用于各层金属镀层的厚度测量。电容法一般仅在很薄导电体的绝缘覆层厚度测试上应用。磁性测量法及涡流测量法，随着技术的日益进步，特别是近年来引入微处理机技术后， 测厚仪向微型、智能型、多功能、高精度、实用化方面迈进了一大步。测量的分辨率已达0.1μm，精度可达到1％。又有适用范围广，量程宽、操作简便、价廉等特点。是工业和科研使用最广泛的仪器。
测厚仪使用说明如下：
1、在同一点重复测量时，每次将探头离开以上，间隔几秒钟后再测，避免被测材料因探头磁化后，影响下次测量结果；
2、使用时，平面调零测平面，凸面调零测凸面，凹面调零测凹面，避免因结构不同而产生测量误差；
3、做调零用的表面，要尽量光滑；被测材料表面的粗糙度对测量数值影响很大，如果表面不光滑，应视情况取平均值；
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