产品功能
定位精度、重复定位精度、位移距离测量、速度加速度测量、线性度、直线度、垂直度、平面度、偏摆角、俯仰角、滚动角、角速度、圆形轨迹、微振动测量，还能够测量数控机床回转台的定位精度和重复定位精度等，从而实现定位、校准、控制和补偿。ZLM700主要用于单轴系统的校准和测量，广泛应用于高速动态加工工艺中的机械定位和系统控制。
性能优势
技术参数 型号：ZLM700 AE700数据处理器 AE950数据处理器 He-Ne激光平均波长： 632.8 nm 632.8 nm 激光稳频精度： 一小时：2x10-9（±0.002ppm） 寿命内：2x10-8（±0.02ppm） 一小时：2x10-9（±0.002ppm） 寿命内：2x10-8（±0.02ppm） 系统精度（0-40℃时）： ±0.4ppm ±0.4ppm 线性误差： ±1.25nm（角隅干涉镜） ±0.62nm（平面干涉镜） ±0.3nm（角隅干涉镜） ±0.1nm（平面干涉镜） 采样速度： 内部0.005Hz-40MHz 外部0.001Hz-10MHz，可调 内部0.005Hz-40MHz 外部0.001Hz-10MHz，可调 光束直径： 6mm（可选3.2mm） 6mm（可选3.2mm） 激光管最大功率： 1mW（II级激光） 1mW（II级激光） 预热时间： 12分钟 12分钟 最大速度： 4m/s（可选16m/s），线速度 320rad/s，角速度 1m/s，线速度 80rad/s，角速度 最大加速： 无限制 无限制 速度测量精度： ±0.5ppm实测值 ±0.5ppm实测值 位移测量分辨率： 2.5nm（角隅干涉镜） 1.25nm（平面干涉镜） 0.62nm 可选 0.6nm（角隅干涉镜） 0.3nm（平面干涉镜） 0.1nm 可选 位移测量精度： (20°±0.5°) 使用AUK (20°±0.5°) 真空中 ±0.4ppm (μ/m) ±0.08 (±0.02)ppm (μ/m) ±0.4ppm (μ/m) ±0.08 (±0.02)ppm (μ/m) 线性测量距离： 40m（可选120m） 40m（可选120m） 线性度测量分辨率： 2.5nm（角隅干涉镜） 1.25nm（平面反射镜） 0.62nm 可选 0.6nm（角隅干涉镜） 0.3nm（平面反射镜） 0.1nm 可选 线性度测量精度： (20°±0.5°) 使用AUK (20°±0.5°) 真空中 ±0.4ppm (μ/m) ±0.08 (±0.02)ppm (μ/m) ±0.4ppm (μ/m) ±0.08 (±0.02)ppm (μ/m) 角度测量范围： ± 15°，20m轴线范围 ± 15°，20m轴线范围 角度测量分辨率： 0.062μrad（3x10-3 角秒） 0.015μrad（3x10-3 角秒） 角度测量精度： ±0.1ppm实测值 ±0.1ppm实测值 平面度测量范围： 20m行程 20m行程 平面度测量分辨率： 0.062μrad（3x10-3 弧秒） 0.015μrad（3x10-3 弧秒） 平面度测量精度： ±0.2%实测值 ±0.05rad/米行程 ±0.2%实测值 ±0.05rad/米行程 直线度测量范围： ± 5mm，2m或10m行程 选用角度干涉镜可测30m行程 ± 5mm，2m或10m行程 选用角度干涉镜可测30m行程 直线度测量分辨率： 145nm，10m行程 29nm，2m行程 36nm，10m行程 7.25nm，2m行程 直线度测量精度： ±0.5%实测值，2m行程 ± 2.5%实测值，10m行程 ±0.5%实测值，2m行程 ± 2.5%实测值，10m行程 垂直度测量范围： ± 5mm，2m或10m行程 选用角度干涉镜可测30m行程 ± 5mm，2m或10m行程 选用角度干涉镜可测30m行程 垂直度测量分辨率： 145nm，10m行程 29nm，2m行程 36nm，10m行程 7.25nm，2m行程 垂直度测量精度： ±0.5%实测值± 0.5角秒（2m） ±2.5%实测值± 0.5角秒（10m） ±0.5%实测值± 0.5角秒（2m） ±2.5%实测值± 0.5角秒（10m） 回转轴测量分辨率： 0.00005° 0.00005° 回转轴测量精度 0.00025° 0.00025° 数据接口： 积分信号 32 Bit (实时信号) 信号延时小于20 ns 积分信号 32 Bit (实时信号) 信号延时小于20 ns 数据分析标准： ISO230/VDI3441/VDI2617/NMTBA ISO230/VDI3441/VDI2617/NMTBA 工作环境： 温度：15°C-30°C 湿度：<90%无冷凝 温度：15°C-30°C 湿度：<90%无冷凝 储存环境： 温度：10°C-40°C 湿度：<95%无冷凝 温度：10°C-40°C 湿度：<95%无冷凝 环境补偿器AUK： 环境传感器精度： <0.1 ℃ 压力传感器精度： <1.5 hPa 相对湿度精度： <5% 材料传感器精度： <0.05 ℃ 环境传感器精度： <0.1 ℃ 压力传感器精度： <1.5 hPa 相对湿度精度： <5% 材料传感器精度： <0.05 ℃
应用光路图
以上为直线度测量示意图，包括水平方向直线度和垂直方向直线度
以上是平面度测量示意图
以上是垂直度测量示意图
以上是位移、线性度、速度、加速度、定位精度测量示意图
以上是对角测量示意图
以上是俯仰角测量示意图
以上是偏摆角测量示意图
以上是滚动角测量示意图
以上是回转台定位精度测量示意图
资料
耶拿尔双频激光干涉仪样本（中文）.pdf
激光干涉仪说明书（中文）.pdf
