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无尘室对应
超精密减压阀RS系列
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特长规格型号表示方法特形外观尺寸图
压力控制方式是因为采用滚动膜片与计量膜合的伺服平衡方式，可以实现无尘室对应的精密的压力调整的超精密减压阀。
- 无尘规格
- 因为部品是不锈钢及氟橡胶，其他的部品全部为非电解镀镍处理，产生的杂质非常少。
- 歧管安装对应
- 歧管连接配管可能。
- 排气口装备
- 因为排气孔，溢流孔，可以连接排气用配管；排气空气及溢流空气都可以排到无尘室以外。
- 高精度
- 可以实现感度0.1%F.S.,反复再现性±0.1%F.S.的高精度控制。
- 缓冲装置
- 平衡装置
- 推压控制（1）
- 推压控制（2）
- 接合装置
- 张力控制装置
| RS-4 | RS-8 | |
| 使用流体 | 清洁压缩空气 | |
| 压力设定范围 （MPa） | 0.014～0.42 | 0.014～0.84 |
| 进口压力设定范围 （MPa） | 1. Max. | |
| 排气的有无 | 有 | |
| 反复再现性 （％.F.S） | ±0.1以内 | |
| 感度 （％.F.S） | 0.1以内 | |
| 空气消费量 （Nl/min） | 3.7以内 | |
| 使用温度范围 （℃） | 5～60 | |
| 配管连接口径 | Rc 1/4、歧管型 | |
| 压力表连接口径 （Rc（PT）） | 1/4 | |
| 支架 | 标准配置（歧管型以外） | |
| 质量 （kg） | 0.41 | |
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