世伟洛克隔膜密封阀系列
DP 系列无弹簧隔膜阀
■ 适合超高纯度应用
■316L VIM-VAR 不锈钢阀体
■低压和高压两种阀型
■VCR®、卡套管对焊和模块式表面安装端接
■手动或气动执行机构
DL 和 DS 系列隔膜阀
■ 无填料, 全金属壳体
■ 压力从真空至 3500 psig (241 bar)
■ 温度从 –73 至 121°C (–100 至 250°F)
LD 系列隔膜阀
■ 工作压力高达 300 psig (20.6 bar)
■ 开关、散装气体分配以及隔离服务
■ 铸造、锻造及棒材不锈钢阀体材料
■ 1/4 至 1 in.、12 至 25 mm 端接
DF 系列高流量, 无弹簧隔膜阀
■ 316L VAR 不锈钢阀体
■ 工作压力可达 300 psig (20.6 bar)
■ 1/4, 3/8 和 1/2 in. ；10 和 12 mm 端接
DRP 系列超高纯含氟聚合物隔膜阀
■气动和四分之一圈手动 2 通和 3 通型；带有流量可调和旁通功能的气动型和手动型
■改进型 PTFE 润湿部件和聚丙烯执行机构
■符合针对超高纯系统组件的 SEMI 标准 F57- 0 3 01
■细牙螺纹扩口和 Nippon Pillar® Super 300 端接标准; 可提供 Flowell, 空间节约型和其它端接
■可提供定制阀组和组件
ALD系列原子层沉积用隔膜阀
■ 高速执行下的超高循环寿命
■ Cv 0.27 到 0.62
■ 耐热执行器、耐温高达 200°C（392°F）
■ 电子执行器位置传感选购件
■ 适合采用 316L VIM-VAR 不锈钢阀体的超高纯应用场合
■ VCR®、卡套管对焊和模块化表面安装端接
典型型号
零部件号：6LVV-ALD3TFR4-P-C
描述：316L VIM-VAR ALD 阀，1/4 in. 内螺纹 VCR, SC-01, NC 耐热执行器
规格摘要
机体材料316L VIM-VAR
连接1规格1/4 in.
连接1类型内螺纹 VCR® 金属垫片面密封接头
连接2规格1/4 in.
连接2类型内螺纹 VCR® 金属垫片面密封接头
清洁工艺超高纯工艺规范 (SC-01)
