蓝宝石抛光垫
SH-Q20抛光布广泛应用于硅(Si)、锗(Ge)、砷化镓（GaAs）、蓝宝石、水晶等粗抛以及精密抛光。日本的信越半导体（硅片）、京瓷（蓝宝石）、并木（蓝宝石）、俄罗斯MonoCrystal（蓝宝石）、等多家公司都在使用该抛光布。
物性说明：
品名 (ARTICLE NO)： SH-Q20
用途 (FOR USES) ： CMP *粗研磨用
物理性质各项参数 ( PHYSICAL PROPERTIES )
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项目 |
重量 |
厚度 |
密度 |
压缩率 |
弹性率 |
硬度 |
绒长 |
开口径 |
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单位 |
g/m2 |
mm |
g/m3 |
% |
% |
Asker C |
μm |
μm |
|
测定值 |
645 |
2.0 |
0.54 |
0.97 |
63 |
96 |
-- |
-- |
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TEST METHOD |
JIS- K6328 |
JIS- K6328 |
JIS- K6328 |
JIS- L1096 |
JIS- L1096 |
JIS- K6301 |
OWN METHOD |
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(物理性质数据只是测定数值，不作为规格数值。)(The above is not standard, but measured figures.)产品特点：
v 能提高研磨效率，研磨面的表面状态如均匀的毛玻璃状态；
v 采用高硬度的不织布，使用寿命长；
v 可以用来金属的研磨，并可以使用研磨砂，有相应实绩；
v 可以根据用户要求开槽。
同比市面上较多的罗门哈斯SUBA系列抛光布具有以下优点：
v 抛光寿命更长
v 价格更加低廉
v 性能与SUBA系列持平
