机台特点:
包括：明场，暗场，DIC衬度，偏光和落射荧光。最多可以在物镜转换器上安装五个物镜。特别适用于在高倍率物镜时对产品观察测量。
型号及产品参数
1290（测量范围：X轴1200mm,Y轴900mm）
1000（测量范围：X轴1000mm,Y轴1000mm）
9060（测量范围：X轴900mm,Y轴600mm）
5040（测量范围：X轴500mm,Y轴400mm）
Z轴测量范围：150mm，
显示器分辨率：0.001um\0.0005um\0.0001um可选配
应用于：半导体封装，焊接贴片，环路高度，FPD面板（LCM），MEMS,晶片级CPS,硬盘滑行磁头。
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