超高纯度 接触晶圆的防腐材料金 属离子含量低于PPB级， 否则会污染晶圆 优秀防腐性 需要有优秀的耐酸碱性能， 抵御各类强酸强碱，防止 腐蚀造成金属离子析出厚度及致密性 高厚度和致密性，保证 研磨液/清洗液不会渗透 进入涂层接触基体金属 硬度及耐磨性 硬度及韧性保证部件可进 行二次加工从而保证精度， 耐磨性保证了部件的寿命 且不能过硬划伤晶圆
产品案例
8/12寸晶圆花篮由于强度 载重原因，部分无法使用 超高纯注塑材料，改用超 高纯氧化硅/氧化铝陶瓷材 料，但表面容易划伤晶圆， 且接触酸容易造成花篮腐 蚀损坏
叉手在转移晶圆的同时， 会造成晶圆划伤，需要表 面进行防护，同时材料需 要有防腐性保证飞溅的酸 碱不损坏转运臂
纯度：PPB级
厚度：100-800µm
耐酸：氢氟酸+硝酸
硬度：4H
